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新型高精度勻膠機旋涂儀
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新型高精度勻膠機旋涂儀 型號：TB-616
新型高精度勻膠機旋涂儀
產品簡介：主要用于液體，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工藝。可在科研，教育，生產中應用。
主要特點：
高精度多程序控制器：
可設定存儲7個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程。
每個涂敷工藝過程可以設置25步不同的速度狀態；
液晶顯示屏可以實時顯示：
1. 第N個涂敷工藝過程
2. 所處工作段
3. 真空吸片狀態。
4. 設置時間；及實時運行時間。
5. 設置速度；及實時速度狀態。
中英文兩套操作系統供選擇。
人機交互式對話，簡潔，明了。
器空吸片系統更安全：
安裝有真空度傳感器，涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度，
必須在安全的真空度下，電機啟動，運行。保障可靠吸片，不飛片。
變頻調速電機，轉速精度更高：
300 - 10000 轉/分，轉速穩定性：+ - 0.1 %
Z高轉速10000轉/分
技術參數：
單相交流電源：220V.50Hz
電機功率：150W
旋轉真空吸盤直徑：4英寸（102mm，標準配置）
可選擇配置： 基片直徑10—150mm可接受訂貨。
轉數：300 - 10000 轉/分。
可設定時間：1---9999秒。
標準包裝：
結構尺寸： 260mm寬 x 350mm深 x 260 mm高 ,
可選配件 1、60升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盤
3、70升/分無油真空泵
*不銹鋼機殼 NPP材質工作腔
不銹鋼機殼，外表面潔凈光亮。美觀，方便清洗。
NPP材質工作腔。
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